Ketika masa pemerintahan Bupati Raden Mas Soeboyono, pada tahun 1906 Pemerintah Hindia Belanda membentuk Kotapraja (gemente) Semarang, sehingga terdapat dua sistem pemerintahan, yaitu kotapraja yang dipimpin oleh burgenmester, dan kabupaten yang dipimpin oleh bupati.
Kabupaten Semarang secara definitif ditetapkan berdasarkan UU Nomor 13 tahun 1950 tentang pembentukan kabupaten-kabupaten dala m lingkungan provinsi Jawa Tengah. Pada masa pemerintahan Bupati Iswarto (1969-1979), ibukota Kabupaten Semarang secara de facto dipindahkan ke Ungaran. Sebelumnya pusat pemerintahan berada di daerah Kanjengan (Kota Semarang).
Pada tahun 1983, berdasarkan Peraturan Pemerintah Nomor 29 Tahun 1983 tentang Pemindahan Ibukota Kabupaten Semarang ke Kota Ungaran di Wilayah Kabupaten Daerah Tingkat II Semarang, Ungaran yang sebelumnya berstatus sebagai kota kawedanan ditetapkan sebagai ibukota Kabupaten Semarang, yang sebelumnya berada di wilayah Kotamadya Semarang. Sejak itulah setiap tanggal 20 Desember 1983 ditetapkan sebagai hari jadi Ungaran sebagai ibukota Kabupaten Semarang.
Pada tahun 2005, kecamatan Ungaran dimekarkan menjadi dua, yakni Ungaran Barat, Semarang dan Ungaran Timur, Semarang.
Tahun | Nama Bupati |
1969-1979 | Drs. Iswarto |
1979-1985 | Ir. Soesmono Martosiswojo |
1985-1987 | Drs. Sardjono |
1987-1992 | Drs. Hartomo |
1992-1999 | Drs. Sudijatno |
1999-2004 | H. Bambang Guritno SE MM |
2004-2006 | H. Bambang Guritno SE MM (Non Aktif) |
2006-2010 | H. Siti Ambar Fathonah (Plt.Bupati) |
2010-2015 | dr. H. Mundjirin ES .SpOG |